Die im Zusammenhang mit der Aufstellung, Änderung, Ergänzung oder Aufhebung von Bauleitplänen zu erwartende mögliche Versiegelung des Bodens erfordert einen Ausgleich durch Bereitstellung von sogenannten Ausgleichsflächen etwa in Gestalt von Grünflächen (Streuwiesen), Biotopen, extensiv genutzten Wiesen, die einer intensiven landwirtschaftlichen Nutzung entzogen sind. Diese sind in den Flächennutzungsplänen darzustellen und in den Bebauungsplänen festzusetzen. Die Ausgleichsflächen müssen nicht im räumlichen Zusammenhang mit dem Baugebiet stehen (sogenannte externe Kompensation). Andererseits kann der Ausgleich auch in einer Dachbegrünung des Gebäudes bestehen, mit dem der Boden versiegelt wird. Grundlage bildet die Eingriffsregelung des Bundesnaturschutzgesetzes und §§ 1 Abs. 7, sowie 1a Abs. 3 BauGB.
Die Kosten für die Bereitstellung der Ausgleichsflächen sind nach bestimmten Umlegungsmaßstäben, die sich am Versiegelungsgrad des Bodens durch die Bebauung orientieren (überbaubare Grundstücksflächen, zulässige Grundfläche, zu erwartende Versiegelungsfläche, Schwere des Eingriffs), auf die Eigentümer der Flächen des neuen Baugebietes abzuwälzen. Im Gegensatz zum Erschließungsaufwand werden die Gesamtkosten der Ausgleichsmaßnahmen umgelegt.
Beschaffung und Bereitstellung von Ausgleichsflächen können auch durch städtebaulichen Vertrag auf Unternehmen übertragen werden.